- Стоимость:
- от 40 000 000 ₽
- Состояние:
- новый
- Год выпуска:
- 2 023
- Документация:
- Оратория_9-1.jpg
- Местоположение:
- Калининград
- Продавец:
- АО "КВАРЦ"
- Контакты продавца:
- главный конструктор Черных Юрий Олегович, тел. +7 962 250 28 47
Установка предназначена для осаждения многослойных тонких пленок из металлов, сплавов и диэлектриков, методом термического испарения материала электроннолучевыми испарителями на кремниевые подложки диаметром до 100мм.
Установка обеспечивает:
безмасляную(сухую) откачку на базе форвакуумного и криогенного или турбомолекулярного насосов;
работу 2-х электронно-лучевых испарителей мощностью 12 кВт нагрев подложек в диапазоне 100-350С;
автоматическое выполнение программ от «загрузки до выгрузки»;
контроль и автоматическое окончание процесса напыления по времени или по заданной толщине пленки;
количество подложек на сферической карусели — 40шт.
Вернуться к списку