- Стоимость:
- от 25 000 000 ₽
- Состояние:
- новый
- Год выпуска:
- 2 023
- Документация:
- УВН_71П-3М-1.png
- Местоположение:
- Калининград
- Продавец:
- АО "КВАРЦ"
- Контакты продавца:
- главный конструктор Черных Юрий Олегович, тел. +7 962 250 28 47
Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники. Установка комплектуется одним испарителем для нанесения резистивных сплавов, двумя испарителями для нанесения металлических слоев и источником ионной очистки.
Установка обеспечивает:
безмасляную откачку на базе криогенного или турбомолекулярного насосов;
очистку поверхности подложки перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока;
нагрев подложек до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля.
Основные технические характеристики:
Количество подложек размером 60×48 мм, обрабатываемых за один цикл, шт. — 19;
Диапазон температуры нагрева подложек, °С — 100-350;
Скорость вращения карусели, об/мин — 10-60;
Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин. — 60.
По желанию заказчика возможны изменения комплектности установки. Срок поставки установки 8-9 месяцев с момента предоплаты согласно заключенному договору.
Вернуться к списку