- Стоимость:
- от 40 000 000 ₽
- Состояние:
- новый
- Год выпуска:
- Документация:
- Оратория_5.jpg
- Местоположение:
- Калининград
- Продавец:
- АО "КВАРЦ"
- Контакты продавца:
- главный конструктор Черных Юрий Олегович, тел. +7 962 250 28 47
Высокая производительность установки обеспечивает возможность ее использования для серийного производства изделий микроэлектроники.
Установка Оратория 5М обеспечивает:
безмасляную (сухую) откачку на базе форвакуумного и криогенного, или турбомолекулярного насосов;
ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин;
работу двух магнетронов в диапазоне мощности от 2 до 6 кВт.;
работу радиочастотного плазменного генератора РПГ-250;
исключение «человеческого фактора» при проведении техпроцесса нанесения покрытий и минимизация возможности получения брака;
повторяемость характеристик покрытий из загрузки в загрузку;
корректировку, при необходимости, параметров режима во время процесса без его останова («ручной режим»);
возможность создавать любые новые техпроцессы самостоятельно;
протоколирование техпроцессов, позволяющее технологу проводить контроль и оперативное выявление причин возникновения брака в производстве покрытий;
непрерывный мониторинг оборудования и управление его работой при возникновении аварийных ситуаций;
диагностику и регистрацию параметров функционирования основных систем оборудования, что позволяет оперативно находить возникающие неполадки и неисправности.
Основные технические характеристики:
Одновременная загрузка подложек, размером 60х48 мм., 15 шт.;
Одновременная разгрузка подложек, размером 76 мм., 15 шт.;
Температура нагрева подложек, оС 100 — 500;
Неравномерность толщины напыленных пленок, не более 3%;
Глубина очистки пластин, не менее 10 нм.
Вернуться к списку